为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将【登录查看】月政府采购意向如下：序号采购项目名称采购需求概况预算金额（元）预计采购时间（填写到月）备注1光刻机物镜离子束抛光装备拟采购设备要求的技术参数∕指标：加工能力：最大尺寸:Ф300mm;角度:±30加工精度：可实现面形RMS<1nm超高精度加工加工类型：平面、球面、非球面、自由曲面及图像刻蚀加工材料：金属、石英、微晶、单晶硅、蓝宝石、碳化硅等布局：立式三轴T型布局X/Y/Z三轴有效行程360mm*360mm*360mm离子源：IOT离子源设备体积：...