为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将【登录查看】月政府采购意向如下：序号采购项目名称采购需求概况预算金额（元）预计采购时间（填写到月）备注18英寸晶圆级高密度集成器件高通量缺陷检测设备用于对8英寸晶圆上的高密度器件进行高通量的光电多参数信号采集，并根据光电信号测试结果，自动化进行高通量的缺陷信息表征。整合同步光调制与可编程矩阵激光器模块，可支持极端环境下（高温、多波长光电激发）器件的多通道、多参数电学特性退化研究。主要技术要求：1、支持8英寸晶圆先进节点工艺器件电学信号检测，检测集成密度高达100...