为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将【登录查看】月政府采购意向如下：序号采购项目名称采购需求概况预算金额（元）预计采购时间（填写到月）备注1MEMS传感器真空键合系统本次拟采购的MEMS传感器真空键合系统主要用于微机电系统（MEMS）传感器的晶圆级键合，要求设备具备高精度、高可靠性键合能力，适用于小尺寸晶圆（例如2英寸），并支持硅基、蓝宝石基等多种材料的高强度键合，以满足高温、高压、振动等严苛环境下的传感测试需求。同时，系统还需配备激光器以满足MEMS振动膜片结构的精密刻蚀需求、以及需配置压力控制...