中国科学技术大学湿法工艺台更正公告

2025-08-08 00:00:00

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安徽

一、项目基本情况原公告的采购项目编号:ZF【登录查看】85原公告的采购项目名称:中国科学技术大学湿法工艺台首次公告日期:【登录查看】二、更正信息更正事项:采购文件更正内容:我公司现对中国科学技术大学湿法工艺台招标文件做出如下更正。此次更正为招标文件的组成部分,具有同等效力。更正内容与招标文件不同之处,按本次更正内容执行。项目更正内容如下:1.现对采购需求中“【登录查看】.5后道-光刻工艺台”技术参数进行调整,调整后的技术参数如下:【登录查看】.5后道-光刻工艺台1.主要功能涂胶、显影,需适配4英寸晶圆或对应光刻掩膜版。需整片能够正常涂胶显影。2.★电力额定电压380V,额定功率≤2kW;...

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