****2025年8至12月政府采购意向-****化学学院互联原子层沉积系统采购项目详细情况****化学学院互联原子层沉积系统采购项目项目所在采购意向：****2025年8至12月政府采购意向采购单位：****采购项目名称：****化学学院互联原子层沉积系统采购项目预算金额：【登录查看】万元(人民币)采购品目：A****2099其他电气机械设备采购需求概况：采购1台互联原子层沉积系统，需要满足以下具体指标：原子层沉积系统：1)反应腔：样品最大8英寸，内外双区域加热，最高温度350℃；2)均匀性：<1%(Al2O3)；3)前驱通道6路，包含1路水，5路固液气源，5路均带加热包系统；...