EB-PVD设备　　招标公告

一、项目名称：EB-PVD设备二、项目编号：S2025053三、采购人：【登录查看】采购与招投标管理中心地址：【登录查看】室邮编：215021联系人：陈老师　　　电话：【登录查看】电子邮箱：xnchen@suda.edu.cn技术联系人：张老师　电话：【登录查看】电子邮箱：lengliuxingzi@163.com四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求EB-PVD设备1台（一）主要技术参数及配置要求1.设备技术要求：设备所有零部件和各种仪表的计量单位应全部采用国际单位（SI）标准。2.工艺要求【登录查看】工艺气体主要包括O2及Ar，工艺气体纯度不低于5...