一、项目名称：原子层沉积设备二、项目编号：S2025131三、采购人：【登录查看】采购与招投标管理中心地址：【登录查看】室邮编：215021 传真：【登录查看】联系人：罗老师 电话：【登录查看】电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn技术联系人：朱老师 电话：【登录查看】电子邮箱：jwzhu@suda.edu.cn四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求原子层沉积设备 1套（一）技术要求1.腔体：加热采用外置加热结构，加热部件在反应腔体外侧，反应腔内侧无加热机构，反应源不会以包括微观扩散在内的任何...
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