大连理工大学干法刻蚀工艺交互式系统采购项目公开招标公告

项目概况【登录查看】室（【登录查看】）或电子邮箱dl88898527@163.com获取招标文件，并于【登录查看】13点00分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：DUTASZ-2025285项目名称：【登录查看】干法刻蚀工艺交互式系统采购项目预算金额：【登录查看】万元（人民币）最高限价（如有）：【登录查看】万元（人民币）采购需求：拟采购干法刻蚀工艺交互式系统1套，包括感应耦合等离子体刻蚀原理机、感应耦合等离子体刻蚀数字孪生仿真平台、感应耦合等离子...