高选择比自由基刻蚀系统

****【登录查看】政府采购意向-高选择比自由基刻蚀系统详细情况高选择比自由基刻蚀系统项目所在采购意向：****【登录查看】政府采购意向采购单位：****采购项目名称：高选择比自由基刻蚀系统预算金额：【登录查看】万元(人民币)采购品目：A****0300-电子工业生产设备采购需求概况：为支撑应用物理系集成电路与新能源专业的实验教学与前沿研究，现拟购置一台“高选择比自由基刻蚀系统”。该系统将主要用于建设微纳加工公共平台，以弥补我校在先进半导体工艺领域的短板。预计采购时间：2026-03备注：本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代...