【登录查看】原子层沉积系统免招标采购征求意见公示申请人所在实验室主要从事半导体量子电子器件方面的研究，目前承担了半导体-超导复合量子器件的研究任务。研究需要实现顶栅可高效调控的半导体沟道结构，在研究的过程中，需要利用“原子层沉积系统”来实现高速高品质栅介质层的制备，而要实现此目的，就需要“原子层沉积系统”具备较好的高温密封系统和微波等离子体技术，这是因为高温密封系统能够有效隔绝其他气体渗漏，保证沉积材料不会有其他杂质生成。例如在热式沉积氮化物中由于隔绝了空气中的氧气渗漏可以有效降低氮化物中氧杂质的含量，我们希望能够降低到1%以下；同时在沉积一些速率较低的材料时，微波等离子体的等离子...