【登录查看】超高真空掩模腔免招标采购征求意见公示申请人所在实验室主要从事拓扑超导材料及其异质结方面的研究，目前承担了“量子材料与拓扑量子计算”等研究任务；研究需要实现在高质量的量子材料薄膜上外延其他量子材料、磁性材料、超导材料的纳米结构，如纳米方块、纳米线、纳米岛等，线宽在100纳米范围，并保证两种材料之间的界面高度洁净。这一制备技术要求一个兼容超高真空环境制备纳米材料的操作系统，它能在超高真空下进行掩模的存放、选取、与薄膜样品贴合、对准、转移等操作。这样的功能可以通过一个超高真空掩摸腔体实现，腔体内包括能进行多种高精度操作的机械手（能平移、旋转、翻转样品和掩模等），并需要有特殊的技术把掩...