【登录查看】超高真空电子束蒸发源免招标采购征求意见公示申请人所在实验室主要从事拓扑超导材料及其异质结方面的研究，目前承担了“量子材料与拓扑量子计算”等研究任务；研究需要实现高质量的拓扑绝缘体和其他强自旋轨道耦合二维量子材料，如(Bi,Sb)2(Se,Te)3，(W,Mo)(Se,Te)2等薄膜的制备，这些材料需要在超高真空（真空度为10-10-10-11mbar）的环境下才能实现原子层量级精确控制薄膜厚度和掺杂度。而要实现这些目的，就需要蒸发源必须是“超高真空”兼容的，不然会释放出各种杂质，影响材料质量。根据调研，目前电子束蒸发源的供应商主要有三家，包括Telemark和Temescal（...