电子束光刻机，是纳米器件前沿研究工作中最先进、使用频率最高的仪器设备之一，工艺精度达纳米量级。由于本实验室在纳米加工方面有足够国际影响力，英国顶尖电子束光刻设备制造商NBL公司接受了我们提出的合作工艺开发建议，并以买一赠一的优惠条件提供两台电子束光刻机。设备采购时，因NBL公司优惠幅度很大，其他供应商的同类产品无力竞争，没有参与投标，这两台设备均以单一来源形式采购。这两台设备分别于2010年和2014年到货；目前，均已超出保修期。为维持设备最佳技术指标，保障科研项目顺利开展，我们申请免招标形式采购维保服务。电子束光刻设备自动化程度高，结构复杂，零部件供应、安装调试均只能从原厂完成，其它厂家无法...