GS2019[011]--北京大学物理学院适用于氮化物单晶的金刚线多线切割机免招标采购征求意见公示

【登录查看】/GaN单晶方面的研究，目前承担了氮化物单晶晶片的研究任务。研究需要实现2英寸氮化铝单晶衬底的研制，在研究的过程中，需要利用“金刚线多线切割系统”来实现用HVPE方法和PVT方法生长出的AlN晶体无断裂地切割，从而得厚度均匀的晶片，并保证能切割小尺寸且外形不规则（不能滚圆）晶体，而要实现这些目的，就需要“金刚线多线切割系统”具备1）切割过程中金刚线张力要求始终受控，张力波动始终小于+-【登录查看】N；2）线网定位精度必须能控制，斜面入切时，厚度均匀性≤【登录查看】mm。垂直面入切时，厚度均匀性≤【登录查看】m...