铌酸锂光波导刻蚀机项目公告

铌酸锂光波导刻蚀机项目公告【登录查看】核心提示：铌酸锂光波导刻蚀机项目已具备招标条件。资金情况已落铌酸锂光波导刻蚀机项目已具备招标条件。资金情况已落实。中科信工程咨询（北京）（招标代理机构）受中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。1.招标范围【登录查看】货物名称：铌酸锂光波导刻蚀机【登录查看】招标编号：【登录查看】A【登录查看】项目概况主要用于铌酸锂基片及薄膜的高精度刻蚀，通过等离子体刻蚀技术在铌酸锂材料表面形成高深宽比、高垂直度的微纳结构，支持电子束光刻胶等掩模方式，满足光波导器件的精密加工需求。设备主要指标：（1）刻蚀反应腔室具...