等离子增强气相沉积采购项目意向公开发布时间：【登录查看】等离子增强气相沉积采购项目意向公开采购单位:某单位项目名称:等离子增强气相沉积采购项目预算金额（万元）:450采购品目:A****0300电子工业生产设备采购需求概况:为满足低温成膜工艺研发需求，现拟采购一套等离子增强气相沉积设备。该设备为器件制备核心工艺设备，可实现SiO2、Si3N4、SiON、非晶硅、SiC等典型介质及半导体薄膜的低温沉积。联系人:徐老师联系电话:0755-****2181预计采购时间:【登录查看】备注:无本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写202...
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