自研原位转角堆叠单元-分子束外延室意向公开发布时间：【登录查看】【登录查看】点击次数：2156单位:某单位项目名称:自研原位转角堆叠单元-分子束外延室预算金额（元）:2,500,【登录查看】采购品目:真空应用设备采购需求概况:为开发自研原位转角堆垛系统，现需采购分子束外延室一台，作为系统的核心样品制备单元。具体包括以下组件：真空腔体、长传样杆、波纹管调节器、1套RHEED、4套标准蒸发源和控制器、2套低温蒸发源和控制器、1套高温蒸发源和控制器、安捷伦VACIONPLUS300离子泵和钛泵复合泵、CF63手动阀、观察窗挡板、观察窗、盲板、安捷伦UHV24真空规、线缆及XGS600控制器用板...