[HF20261298]MEMS芯片技术服务成交公告

1.项目名称：MEMS芯片技术服务2.成交供应商名称：【登录查看】.成交供应商地址：【登录查看】.成交金额(币种)：【登录查看】万元5.付款方式：服务完成且验收合格后30个工作日之内付合同金额100%。6.主要成交标的：序号服务内容服务期限1器件层正反面光刻刻蚀（完成指定图形加工，刻蚀至埋氧层，CD误差±1μm，服务次数10次）2周2器件metal层图形化（完成指定图形加工，含金料100nm，服务次数5次）2周3埋氧层释放+硅片干湿清洗（埋氧层去除，服务次数5次）2周华中科技大学国家精密重力测量科学中心2026年06...