干式真空泵等精密超精密装备制造中试服务平台建设项目招标计划公告

干式真空泵等精密超精密装备制造中试服务平台建设项目招标计划公告拟招标项目名称干式真空泵等精密超精密装备制造中试服务平台建设项目项目批准文件及文号绵安发改〔2026〕130号招标人（建设单位）【登录查看】联系人及联系方式胡老师；【登录查看】估算总投资（元）250000000项目分类房屋建筑招标项目概况本项目依托现有厂房12000m2，新建精密超精密机械加工中试平台，提供设施配套服务、成果转化落地、中试生产等专业化公共技术服务;本项目计划购置设备包括中试生产及生产辅助设备、检测验证设备约160余台(套)，主要聚焦半导体及泛半导体领域高端干式真空泵等精密超精密装备的整机、核心...