中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆涂胶显影机公开招标公告

项目概况中国科学院【登录查看】公室获取招标文件，并于【登录查看】09点45分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：STC26A287项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆涂胶显影机预算金额：【登录查看】万元（人民币）最高限价（如有）：【登录查看】万元（人民币）采购需求：采购人采购1套晶圆涂胶显影机，包括晶圆传输模块、涂胶单元、显影单元、热板单元、冷板单元等主要配件。具体详见招标文件。合同履行期限：交货期：合同签订后6个月内。本项目( 不接受 )联...