为便于供应商及时了解采购信息，现将我校快速采购意向公开如下：1、项目概况：（1）拟采购方式：上大迅采（2）采购项目名称：等离子增强原子级生长设备（3）预算金额：41万元（4）采购需求概况：等离子增强原子级生长设备1套，用于高深宽比器件制备，配套场效应迁移率大于90cm²/(V·s)的IGZO-TFT（铟镓锌氧薄膜晶体管）工艺，台阶覆盖率：＞95%，工艺前后新增颗粒（直径≥【登录查看】μm）数量≤【登录查看】个/cm2。质保期不低于一年。供货周期：收到采购人通知后30天内送至指定地点。（5）预计采购时间：【登录查看】（6）采购意向公示时间：【登录查看】~【登录查看】2、联系方式：采购人名称...