近表层三波长共焦合束与束腰调节光学组件项目直面市场比价公告一、项目名称：近表层三波长共焦合束与束腰调节光学组件二、项目编号：2026-YKZNKX-W81037三、项目概况：1技术服务要求设备名称规格参数计量单位数量备注近表层三波长共焦合束与束腰调节光学组件★1、面向近表层、基膜及界面光热响应测试的多波长共聚焦，所需波长激光在测试位置处，束腰光斑重合光斑重合度：≤±【登录查看】μm；时间同步＜1ps；调节方式：根据近表层/基膜界面光路变化自动化调节重合度★2、XY方向强度中心偏差＜1um★3、Z方向束腰偏差＜1um★4、三波长激光使用消色差透镜保证近表层/基膜界面测试位置束腰光斑重合，同时可调节激光...