一、项目名称：微传感器电测平台二、项目编号：2026-YKZNKX-W81004三、项目概况：1技术服务要求设备名称规格参数计量单位数量备注微传感器电测平台1.支持传感器尺寸：100mm；真空吸附，包含中心吸附孔和多圈吸附环，均独立控制2.样品台调节行程：100mm*100mm*10mm，精度1μm3.样品台的旋转角度：360度,精度【登录查看】°，带刻度尺4.样品台电学绝缘，可为垂直结构产品引出信号，5.气浮防震平台，降低扎针的震动影响6.龙门结构金相显微镜，多倍率物镜切换，5倍、10倍、20倍、50倍7.成像系统优于200万像素，内置测量软件，环形LED和同轴双光源8.包含独立4套独立电信号通道...