深圳职业技术大学先进封装基板线洁净间制水制气设备意向公开

【登录查看】先进封装基板线洁净间制水制气设备意向公开采购单位:【登录查看】项目名称:先进封装基板线洁净间制水制气设备预算金额（元）:1,590,【登录查看】采购品目:其他仪器仪表采购需求概况:本次拟重点购置超纯空气制备设备、高纯制氮设备与高等级纯水设备，作为洁净间的核心动力气源与水源保障系统，为全区域日常运行稳定供应符合精密制造标准的超纯水、无油超纯压缩空气与高纯氮气。其中超纯水体系可近乎完全滤除10nm以上颗粒物，高纯度氮气可为工艺腔体提供稳定的低氧惰性保护环境；超纯压缩空气则从源头杜绝微尘、VOC等杂质侵入制程环节，从根本上避免晶圆光刻缺陷、器件电性偏移等良率损失问题。这套水气供...