中国科学院上海微系统与信息技术研究所磁控溅射PVD公开招标公告

项目概况中国科学院【登录查看】公室获取招标文件，并于【登录查看】09点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：STC26A330项目名称：中国科学院【登录查看】预算金额：【登录查看】万元（人民币）最高限价（如有）：【登录查看】万元（人民币）采购需求：采购1台磁控溅射PVD，包括传输单元、Degas模块、Preclean模块、PVD工艺模块等。具体技术规格要求详见招标文件。合同履行期限：交货期：合同签订后7个月内。本项目( ...