气体流量控制与残余气体纯化系统（二次）公开招标公告

项目概况气体流量控制与残余气体纯化系统招标项目的潜在投标人应在【登录查看】室获取招标文件，并于【登录查看】09点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：HCZB-2026-ZB0721项目名称：气体流量控制与残余气体纯化系统预算金额：【登录查看】万元（人民币）最高限价（如有）：【登录查看】万元（人民币）采购需求：多通道反应气体流量控制与监测，缓冲气体流量计最大控制流量＞100sccm；反应气体流量控制精度10-6mbar·l/s；流量控制重复精度小于【登录查看】%F.S.；缓冲气体注入液氮低温预冷（77K），对注入气体预冷...