****超高真空环境薄膜生长系统智能化模块采购意向公示为便于供应商及时了解采购信息，现将我校快速采购意向公开如下：1、项目概况：（1）拟采购方式：上大迅采（2）采购项目名称：超高真空环境薄膜生长系统智能化模块（3）预算金额：32万元（4）采购需求概况：超高真空环境薄膜生长系统智能化模块，1套。用于对现有超高真空薄膜生长系统的真空检测、蒸发源、温度控制、样品转移及QCM原位检测等模块进行智能化升级与联控，实现约定固定工艺流程的设备联控。蒸发电源输出稳定度≤【登录查看】%，膜厚速率闭环PID控制精度±【登录查看】（含）/s。衬底温区覆盖室温至1000（含）℃，控温精度±【登录查看】（含）℃。供货周期自合同签订时间起...