预算超9600万元！中国科学院半导体研究所发布半导体科研装备采购意向

近日，****发布一批科研装备采购意向，采购聚焦半导体外延制备设备、晶圆加工装备、精密表征测试系统、微波射频分析仪器、光电仿真测试平台，覆盖MOCVD系统、分子束外延系统、HVPE系统、高温扩散炉、光刻刻蚀设备、各类光谱与电学测试分析仪器等多种科研硬件，预算金额达【登录查看】万元，预计采购时间在2026年910月。****政府采购意向，项目实际技术指标、招标时间、商务要求均以后续官**式采购公告及招标文件为准，仪器设备供应商可持续关注官方渠道获取最新动态。