广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年09月至2026年10月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位【登录查看】至【登录查看】采购意向公开如下：序号采购项目名称采购需求概况落实政府采购政策情况预算金额(元)预计采购时间备注1金属有机物化学气相沉积设备（MOCVD）标的名称：金属有机物化学气相沉积设备（MOCVD）标的数量：1主要功能或目标：用于Ⅲ‑N族化合物半导体外延薄膜生长，可实现GaN基等外延片制备，可精准控制薄膜厚度、组分与掺杂，保障外延片晶体质量、片内/片间均匀性，满足半导体器件的研发与中试生产。需满足的要求：1.设备支持8英寸衬底生长，单炉可载5...