1.项目名称：半导体晶圆纳米级掩埋型缺陷检测系统计量测试服务2.成交供应商名称：中国计量科学研究院3.成交供应商地址：【登录查看】.成交金额(折合人民币)：100000元5.付款方式：服务完成且验收合格后5个工作日之内付合同金额100%。6.主要成交标的：序号服务名称服务内容服务期限1半导体晶圆纳米级掩埋型缺陷检测系统计量测试服务基于半导体晶圆纳米级掩埋型缺陷检测系统项目的考核指标要求，协助制定检测系统相关的测试大纲，制定计量测试方案，为可检测缺陷掩埋深度、掩埋缺陷检测灵敏度、检测速度、可检测缺陷类型（烟气喷孔、层替代失效空洞、底部钨残留物、垂直钨桥）误检率的测试提供计量测试...